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防止洁净室及相关受控环境的空气分子污物

作者: 新葡萄京官网网址-新萄京ag65609com-澳门萄京娱乐公司官网发表时间:2022-12-15 17:56:21浏览量:731

防止洁净室及相关受控环境的空气分子污物 洁净室及相关受控环境的空气分子污物,不外乎来自于室外空气和室内设施、工艺和人员等方面。在工程设计和制定控制要求的初始阶段和设施运行过程中,须了解、掌握这些发生...
文本标签:洁净室受控环境,防止洁净室污物

防止洁净室及相关受控环境的空气分子污物

洁净室及相关受控环境的空气分子污物,不外乎来自于室外空气和室内设施、工艺和人员等方面。在工程设计和制定控制要求的初始阶段和设施运行过程中,须了解、掌握这些发生源的规律和参数,以便根据生产、工艺、科研的需要,采取相应有效的措施,将室内环境分子的浓度控制在允许值以下,为此需要进行以下一些工作。

1.确定分子控制等级及ISO-AMC

对于某个洁净室及相关受控环境而言,确定其空气分子控制等级是设计、建造和运行管理的重要前提条件。只有明确了此项参数,才有可能创建符合工艺、产品所须的室内环境,进而保障工艺的正常过程和产品的质量。

首先,要明确产品或工艺是否受空气分子污物的影响,及其影响程度。以集成电路为例,在集成度较低时,晶圆片直径较小、电路上的线宽尺寸较大、生产工艺较简单、工序较少,当时空气环境的尘粒洁净度是影响产品质量的主要因素。那时空气环境中并不是不存在空气分子污物,只是当时集成度较低,空气分子并不足以影响产品的品质。而随着集成电路工艺的飞速提升,集成度急剧增加,尽管生产环境的空气洁净度相应升级,但新产品的成品率并不理想。经过对产品工艺和环境等相关因素的反复深入剖析后,才确定空气环境中的某些分子污物是重要的制约因素。

由此可知,客观存在于空气中的空气分子污物并不是在任何情况下都会成为控制的对象。在许多行业生产中,空气分子对工艺产品并无明显的影响,但对于某些行业,根据所积累的生产经验和产品质量剖析得知,当某些空气分子污物达到一定浓度限值以上,就会影响工艺和产品质量。那么建设单位就应按照需要,采取相应的技术措施,以保障生产工艺和产品质量。为此须确定影响产品或工艺的类别,以及是否需要特殊关注某种或某类空气分子污物及其浓度。在此基础上进一步根据相关标准或生产经验确定产品或工艺所允许的污物(类别、物质组)的较大浓度,并按相关规定确定其控制等级和该场所空气环境的ISO-AMC描述符等。

2.空气分子污染源

洁净室及相关受控环境的空气分子污染物来源不外乎以下方面:

(1).室外空气

室外空气作为新风提供给洁净室及相关受控环境,以满足设施内人员对新鲜空气的需要,并用以平衡排风、正压泄露所需补充的空气,这是多数场所共同面对的情况。随着室外大气环境问题日趋严重,新风中所含多种气体分子污物浓度也日渐增大,对某些工艺和产品质量的威胁日趋严重。例如,微电子、光电子(TFT,LCD,LED) 等工厂要求清除或降低新风中的硫、氮、氨及氨的化合物等气体分子污物,以保障产品质量。

与室外空气温湿度相比较,室外空气分子污物的类别及其浓度更为复杂多变。不同地域、不同的周边环境、不同的季节、不同的时辰,室外新风所含各种空气分子的浓度都有变化,甚至变化很大。特别是新葡萄京官网网址国正处在工业化、城市化的急速发展的进程中,尽管不断强化环保工作,但在许多地方大气环境仍日趋严重。多数地区还不能提供完整的大气空气分子的检测资料,更何况这些数据还因为新工厂、新工地、新道路如同雨后春笋般冒出,而持续地刷新。洁净室与相关受控环境设施在选址时,要尽可能远离工厂、发电厂、水处理厂等企业,远离机场、铁路和交通干道,以尽量减少室外空气污物的影响。

对需要防止空气分子污物的洁净室及相关受控环境,应按照相关规定的要求,策划人员、设计人员和管理人员“需要用足够长的时间进行建设地点所关注的空气分子污物浓度分析,以便评估其变化情况,还要考虑到将来可能出现的室外空气的变化。”

此外相关的规定还指出:“有些场所通过对主导风向和污染源等因素的分析,合理地选择新风口位置,可以减小分子污物的浓度。”从洁净室及相关受控环境运行及维护管理的角度出发,了解并掌握室外空气污物可能对所负责环境的不同部位、不同季节的不同影响,制订相应的技术措施以保障室内工作或生产环境达标。新葡萄京官网网址可提供洁净室、净化工程的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务。

洁净室

(2).建筑材料室内污染

随着化学工业的进步,建筑物中纯天然建筑材料所占份额越来越少,代之以质地、性能可能更好、工业化生产便利、价格相对低廉的合成建筑材料,以满足城市化和工业建筑对建材的需求。但与此同时也带来了因化学合成建筑材料在室内缓释多种特殊气体,造成了室内环境的污染。

各种人造板材、纤维板、胶合板、刨花板、复合石膏板材以及在工业建筑中大量采用的金属夹心板材(内夹玻璃棉板、岩棉板、聚苯乙烯板、聚氨酯、铝或纸蜂窝等保温隔热加固成型材料),在制作成型的工艺过程中,往往都要使用大量的胶粘剂。用这些材料作为建筑物的隔断、吊顶或制作成家具,都将会在相当长的时间向室内缓释甲醛等有机挥发物。高效空气过滤器在成型及与框架密合时,也需要使用大量的化学胶,它们也会向室内散发有机溶剂等分子污物。

(3).其他室内污染

除生产工艺以外,室内其他污染源还包括电脑打印、复印等各种电子办公设备散发的溶剂、氨等臭气。对于民用的住宅、公共建筑等,以保护人群的健康、舒适等为目标,所关注的室内空气品质(IAQ),主要是通过控制室内污染源,并合理增大自然通风或用机械通风方式,以室外空气稀释室内污物,一般来说就可以达标。而对于微电子等现代工业的生产车间和某些科研场所,即便是达到了民用“环境空气质量标准”的室外新风,其中的某些空气悬浮分子污物仍将严重影响产品质量或工艺过程,因此必需配备适宜的气相空气净化装置以保障室内的生产环境。

3.运行和维护

常见制度如下:

(1)工艺作业中佩戴面罩或佩戴有通风过滤的头盔;

(2)对服装及包装材料进行合格的化学分析;

(3)对清洁剂与其他清洁材料进行合格的化学分析;

(4)对所有产品包装材料进行合格的化学分析;

(5)使用任何便携设备或临时性材料时尽量减少分子污染的作业制度;

(6)在设备维护或修理及服务期间,采用临时隔离屏障;

(7)为尽量减少分子污染制定相应的操作规程。

对于人员通过规章制度对下述各项进行控制,能防止或尽量减少来自人员的分子污染:

(1)化妆品、香水和护发用品的使用;

(2)吸烟的规定;

(3)对某些食品的食用;

(4)进出规则;

(5)用于个人的清洁和灭菌材料。

上列各项并非全部。

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2022-12-15 731人浏览
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